Hogyan kell csiszolni és polírozni a szilícium-karbid hordozót?

A szilícium-karbid szubsztrátumok csiszolására és polírozására négy fő eljárás létezik: durva csiszolás, finom csiszolás, durva polírozás és finom polírozás.
A durva köszörülési folyamat során alumínium-oxid polírozó folyadékot használnak a munkadarab felületének közvetlen érintkezésére, és folyamatosan vágást és köszörülést végeznek a szilícium lapka felületének polírozásának javítása érdekében.
A finom csiszolási folyamat során gyémánt polírozó folyadékot használnak a félvezető lapkák csiszolására és polírozására a finom felületi minőség érdekében.
A félvezető lapkák durva polírozási folyamata során lila kálium-permanganát polírozó folyadékot használnak a szilícium-karbid felület közvetlen érintkezésére, hogy oxidációs reakciót váltsanak ki, és a szilícium-karbid felület oxidálódik.
Végül a félvezető ostya finompolírozási folyamatában a szilícium-dioxid szol polírozó folyadék használható nedvesítő kendővel, finom polírozó párnával a polírozáshoz.Hogyan kell csiszolni és polírozni a szilícium-karbid hordozót?
A szilícium-karbid szubsztrátumok csiszolására és polírozására négy fő eljárás létezik: durva csiszolás, finom csiszolás, durva polírozás és finom polírozás.
A durva köszörülési folyamat során alumínium-oxid polírozó folyadékot használnak a munkadarab felületének közvetlen érintkezésére, és folyamatosan vágást és köszörülést végeznek a szilícium lapka felületének polírozásának javítása érdekében.
A finom csiszolási folyamat során gyémánt polírozó folyadékot használnak a félvezető lapkák csiszolására és polírozására a finom felületi minőség érdekében.
A félvezető lapkák durva polírozási folyamata során lila kálium-permanganát polírozó folyadékot használnak a szilícium-karbid felület közvetlen érintkezésére, hogy oxidációs reakciót váltsanak ki, és a szilícium-karbid felület oxidálódik.
Végül a félvezető ostya finompolírozási folyamatában a szilícium-dioxid szol polírozó folyadék használható nedvesítő kendővel, finom polírozó párnával a polírozáshoz.